[22p-B201-1~14] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

16:30 〜 16:45

[22p-B201-11] AlGaN/GaNヘテロ構造の光電気化学エッチングと反応速度の制御

〇富樫 拓也¹、沖 勇吾¹、大澤 由斗¹、越智 亮太¹、赤澤 正道¹、佐藤 威友¹ (1.北大量集センター)

キーワード：

窒化ガリウム