[22p-P01-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[22p-P01-1] ZnO薄膜のミストCVD合成における窒素水素混合ガスプラズマによる支援効果

〇茂籠 柚喜¹、竹田 圭吾¹、平松 美根男¹ (1.名城大理工)

キーワード：

ミストCVD,酸化亜鉛,大気圧プラズマ

本研究では大気圧プラズマがミストCVDの成膜機構に与える効果を明らかにするという目的のもと、水素混合窒素ガスを用いた大気圧プラズマ支援ミストCVDによってZnO薄膜を作製した。作製したZnO膜はSEMによって表面・断面構造の観察と膜厚測定、EDXによって膜組成の分析、PL測定により欠陥評価等を行った。得られたPLスペクトルから、水素混合窒素ガスプラズマによる支援効果により薄膜の欠陥割合が低下することが確認できた。