講演情報
[22p-P01-6]大気圧プラズマ照射による六方晶窒化ホウ素への欠陥導入大気圧プラズマ照射による六方晶窒化ホウ素への欠陥導入
〇(P)井上 健一1、近藤 隆1、石川 健治1、堀 勝1 (1.名大低温プラズマ科学研究センター)
キーワード：
六方晶窒化ホウ素,欠陥,大気圧プラズマ
六方晶窒化ホウ素(h-BN)の点欠陥は単一光子源や量子センサ応用で注目を集めており、プラズマを用いての大面積かつ高密度な欠陥導入手法が求められている。しかしプラズマ処理によるh-BN欠陥形成は作用する活性種についても不明瞭である。本研究では大気圧Heプラズマをh-BN粉末に照射し、プラズマより生成する活性種と形成されるh-BN欠陥の構造を調べた。電子スピン共鳴分析ではHeプラズマ照射によるh-BNの窒素空孔の形成が明らかになった。