[22p-P01-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[22p-P01-9] プラズマプロセス装置外付け実装型負荷インピーダンスモニタリング手法の開発

〇笠嶋 悠司¹、國家 真治²、佐山 俊幸² (1.産総研、2.アドバンテスト)

キーワード：

プラズマインピーダンス,プラズマエッチング装置,その場計測