講演情報

[22p-P03-2]Ge-on-SOIを用いた完全浮遊型マイクロブリッジの作製

〇小田島 綾華1、井上 貴裕1、長尾 優希1、澤野 憲太郎1 (1.東京都市大学)

キーワード:

半導体,ゲルマニウム,マイクロブリッジ