講演情報

[22p-P03-3]超音波による歪みSiGe/Ge-on-Si(111)へのクラック発生

〇芝原夕夏¹、金澤怜奈¹、菊岡柊也¹、長尾優希¹、山田道洋^2,3、浜屋宏平^2,4,5 (1.東京都市大学、2.阪大基礎工CSRN、3.JST さきがけ、4.阪大 OTRI、5.阪大基礎工)

シリコンゲルマニウム,超音波