[22p-P07-1~6] 13.3 絶縁膜技術

[22p-P07-1] 界面準位密度分布のエネルギー依存性がコンダクタンスカーブへ与える影響

〇田岡 紀之¹、手島 蒼生¹、一野 祐亮¹、清家 善之¹、森 竜雄¹ (1.愛工大)

キーワード：

MOS界面,界面準位,コンダクタンス法