講演情報
[22p-P07-5]傾斜エッチングを利用したエリプソメトリーによる絶縁膜のエッチングレート評価
〇鈴木 亜紀1、井上 敬子1、棚橋 優策1、関 洋文1 (1.東レリサーチセンター)
キーワード：
絶縁膜,傾斜エッチング,エリプソメトリー
絶縁膜は膜質や官能基量によりエッチングレートが異なるため、FTIRやXPSの評価では試料ごとの算出が不可欠となる。浸漬から洗浄、乾燥まで処理可能なエッチング装置を開発し、数cm角の傾斜エッチング試料が再現よく簡便に得られるようになった。エリプソメトリーで膜厚分布を測定し、エッチングレートと面内や深さ方向のエッチングの均一性の評価について報告する。