[23a-A303-1~11] 13.3 絶縁膜技術

9:00 〜 9:30

[23a-A303-1] [分科内招待講演] インピーダンス計測プラットフォーム技術を用いた機能性薄膜に関する電気的特性の統計的計測

〇齊藤 宏河¹、鈴木 達彦¹、光田 薫未¹、間脇 武蔵^1,2、諏訪 智之²、寺本 章伸^2,3、須川 成利²、黒田 理人^1,2 (1.東北大院工、2.東北大NICHe、3.広大ナノデバイス研究所)

キーワード：

半導体,シリコン窒化膜,トラップ特性

任意の機能性薄膜から生じる電流電圧特性を高速、高精度、統計的に計測可能な、電流計測プラットフォームを用いた、SiN絶縁膜中トラップ特性の統計的計測について報告する。また、電流電圧特性に加え、他の電気的特性について1つのプラットフォーム上での統計的計測を実現する、新規インピーダンス計測プラットフォーム技術について報告する。