講演情報
[23a-A303-3]電流計測プラットフォームを用いた高容量密度トレンチキャパシタのトラップ特性に関する統計的計測
〇(M2)鈴木 達彦1、齊藤 宏河1、光田 薫未1、間脇 武蔵1,2、須川 成利2、黒田 理人1,2 (1.東北大院工、2.東北大NICHe)
キーワード：
半導体,トレンチキャパシタ,トラップ特性
任意のキャパシタの電流特性を高速・高精度・統計的に計測可能な、電流計測プラットフォームを用いて、Si酸化膜トレンチキャパシタのトラップ特性を統計的に計測した。キャパシタ放電電流の過渡応答を大規模に計測し、Discharge Current Transient Spectroscopyを用いることによるSi酸化膜トレンチキャパシタに関するトラップ特性の統計的計測手法および結果を報告する。