[23a-A303-1~11] 13.3 絶縁膜技術

11:00 〜 11:15

[23a-A303-6] 超高エネルギー分解能STEM-EELSを用いた原子密度の異なるSiO₂のフォノン分析

〇浅野 孝典¹、手面 学¹、齋藤 真澄¹、田中 洋毅¹ (1.キオクシア（株）)

キーワード：

SiO2,STEM-EELS,フォノン