講演情報
[23a-A303-7]SiN膜における短時間領域を含むホール捕獲・放出現象の包括的な解析
〇関 春海1、市原 玲華1、中崎 靖1、齋藤 真澄1、鈴木 正道1 (1.キオクシア)
キーワード：
シリコン窒化膜,ホールトラップ
MONOS型電荷蓄メモリの信頼性を確保するためには電荷蓄積層SiN膜におけるトラップ特性の理解が不可欠である。本研究では10usオーダーの短時間領域を含む広い時間領域におけるSiN膜中のホール捕獲・放出現象を直接観測することで、ホールの捕獲や放出の速度及び空間位置の異なる2種類のトラップの存在を明らかにした。