[23a-A602-1~9] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

10:30 〜 10:45

[23a-A602-7] スパッタリング法によるInP基板上のGe_0.75Sn_0.25エピタキシャル成長

〇壁谷 汰知¹、柴山 茂久¹、高木 孝明¹、坂下 満男¹、黒澤 昌志¹、中塚 理^1,2 (1.名大院工、2.名大未来研)

キーワード：

GeSn,InP,スパッタリング法