[23a-B201-1~11] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

9:15 〜 9:30奨励賞エントリー

[23a-B201-2] フリーホイールダイオードを内蔵したソース接続PSJトランジスタのシミュレーション及び作製

〇(M2)小久保 瑛斗⁴、渡邉 浩崇¹、田中 敦之¹、出来 真斗²、新田 州吾¹、本田 善央^1,2,3、天野 浩^1,2,3 (1.未来研、2.Dセンター、3.高等研究院、4.名大院工)

キーワード：

トランジスタ,分極超接合,フリーホイールダイオード

PSJトランジスタは横型デバイスながら1200V以上の耐圧を実現できるため高耐圧デバイスの候補として注目されている．PSJ構造をソース電極に接続することでフリーホイールダイオードとしての役割を持たせる構造を考案し，シミュレーションと作製を行った．その結果，PSJ構造をソース側に設けた場合でもトランジスタとしての動作に影響はなく，3.4V程度で逆導通が起きることが確認できた．