[23a-B205-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

9:45 〜 10:00

[23a-B205-4] スパッタ法によるB-ion-implanted p-BaSi₂膜の伝導型制御

〇佐藤 匠¹、竹中 晴紀¹、Du Rui¹、梶原 君円¹、幸田 陽一朗²、召田 雅実²、都甲 薫¹、末益 崇¹ (1.筑波大学、2.東ソー株式会社)

キーワード：

半導体,太陽電池,スパッタ