[23p-A301-1~14] 8.1 プラズマ生成・診断

16:15 〜 16:30奨励賞エントリー

[23p-A301-13] フッ素樹脂ターゲットを用いた高周波マグネトロンプラズマの空間分布計測

〇久野 凌平¹、大津 康徳¹、安永 健²、池上 康之² (1.佐大理工、2.佐大海洋エネ研)

キーワード：

プラズマ

フッ素樹脂ターゲットを用いた高周波マグネトロンプラズマを生成し、イオンフラックスに比例するイオン飽和電流の空間分布を静電プローブ法により計測した事について。