講演情報
[23p-A301-3]トモグラフィック発光分光計測によるプラズマ診断におけるチャンバ内壁反射光が電子温度・電子密度診断に及ぼす影響
〇(DC)山下 雄也1,2、土居 謙太3、清田 哲司3、菊地 航行1、石 健太1、渡邊 修平1、根津 篤1、赤塚 洋1 (1.東工大、2.学振DC、3.アルバック)
キーワード：
発光分光計測,トモグラフィ,衝突輻射モデル
プラズマのトモグラフィック発光分光計測において、チャンバ内壁面における多重反射光は、計測の不確かさを増加させうる。本研究では、減圧誘導結合プラズマにおいて、チャンバ内壁の反射率および視線配置が、再構成像に及ぼす影響を実験的に検討した。チャンバに、加圧蒸気封孔アルマイト処理内壁を用いることで、再構成像の歪が軽減した。さらに衝突輻射モデルにもとづき、電子温度・電子密度の空間分布を診断した。