プラズマのトモグラフィック発光分光計測において、チャンバ内壁面における多重反射光は、計測の不確かさを増加させうる。本研究では、減圧誘導結合プラズマにおいて、チャンバ内壁の反射率および視線配置が、再構成像に及ぼす影響を実験的に検討した。チャンバに、加圧蒸気封孔アルマイト処理内壁を用いることで、再構成像の歪が軽減した。さらに衝突輻射モデルにもとづき、電子温度・電子密度の空間分布を診断した。