講演情報
[23p-A301-7]窒素／水素混合低ガス圧小型ECRプラズマにおける窒素原子密度とアンモニア生成レートの関係
〇(M2)植林 彰吾1、佐々木 浩一1 (1.北大工)
キーワード：
アンモニア生成,プラズマ触媒
プラズマと触媒を併用したアンモニアの合成プロセスにおいて、アンモニアの生成には窒素原子が寄与すると考えている研究が多いが、振動励起状態窒素分子の寄与を指摘する研究もある。本研究では、窒素／水素混合低ガス圧プラズマにおいて、アンモニアの生成レートと窒素原子密度を測定し、それらの相関関係を調べることを目的とした。前回報告したように、実験に用いた小型ECRプラズマ源では真空容器壁面の状態に起因するとみられる窒素原子密度のヒステリシス現象が観察され、放電条件に対する窒素原子密度の再現性が低い。そのため、今回は窒素原子密度とアンモニアの生成レートを同時に測定して相関関係を調べた。