講演情報
[23p-A301-8]時間分解プラズマ分光計測を用いた深振動マグネトロンスパッタリングにおける発光遅延時間の解析
〇横山 英佐1、堀内 楓1、高橋 勇成1、中川 悠幹1、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英2、山本 宏晃2、塚本 恵三2、冨宅 喜代一3、大下 慶次郎4、美齊津 文典4 (1.東京工芸大工、2.㈱アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)
キーワード：
深振動マグネトロンスパッタリング,発光分光分析,ガス希薄化現象
深振動マグネトロンスパッタリングは、その周期的なマイクロパルス列によりパルス毎のプラズマ過程の解析を可能とする。本研究では、プラズマ成膜において問題となるガス希薄化現象について、プラズマ発光分光計測（OES）を用いてプラズマ発光の遅延時間とガス密度との相関から時間的・空間的な検討を行った。時間分解OESによるArの原子線の観測では、強い1本目パルス放電でのガスの加熱と希薄化が起こり発光の遅延が確認された。