講演情報
[23p-A301-9]負イオンエネルギー分布関数計測に及ぼす磁化 RFEA の磁界強度の影響
〇松田 良信1、金堀 洋輔1、早川 誠一1、大島 多美子1 (1.長崎大院工)
キーワード：
反射電界エネルギー分析器,磁気フィルタ,酸化亜鉛
反射電界型エネルギー分析器（RFEA）と磁気フィルタ（MF）を組み合わせた磁化RFEAを用いて、Ga添加ZnOターゲットのマグネトロンスパッタリング成膜中の基板入射荷電粒子のエネルギー分布関数（EDF）を計測した。
MF中心磁束密度の最適条件を探索した結果、マグネトロン放電に極力揺動を与えず、かつ、電子流入を十分に抑制して負イオン測定を行うには、200 G程度の中心磁束密度が望ましいことがわかった。
MF中心磁束密度の最適条件を探索した結果、マグネトロン放電に極力揺動を与えず、かつ、電子流入を十分に抑制して負イオン測定を行うには、200 G程度の中心磁束密度が望ましいことがわかった。