[23p-A303-1~8] 13.3 絶縁膜技術

14:00 〜 14:15

[23p-A303-3] Zr/Hf多重積層構造の後酸化および電極形成後熱処理がHfZr酸化物の結晶構造に与える影響

〇(M2)佐野 友之輔¹、田岡 紀之²、大田 晃生³、牧原 克典¹、宮﨑 誠一¹ (1.名大院工、2.愛工大、3.福岡大)

キーワード：

ハフニウム,結晶構造