講演情報
[23p-A307-11]室温成膜したCeO2下地層付きTiO2スパッタ薄膜の光触媒特性
〇若生 仁志1 (1.デクセリアルズ)
キーワード：
スパッタリング,酸化セリウム,酸化チタン
光触媒活性の高いTiO2をプラスチックフィルム上にスパッタリングで室温成膜するために、CeO2下地層の検討を行った。ガラス基板上に直接成膜したTiO2膜の結晶化はわずかであり、光触媒性能の一つであるセルフクリーニング性能は低かった。それに対してCeO2下地層を形成したのちにTiO2を成膜した場合はTiO2の結晶化が明瞭に確認でき、セルフクリーニング性能も向上することが確認できた。