[23p-A602-1~16] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

15:15 〜 15:30

[23p-A602-10] 歪み Si/SiGe/Si(110)ヘテロ構造への in-situ Sb ドーピングプロセスの検討

〇河村 剛登¹、原 康祐¹、山中 淳二¹、中川 清和²、有元 圭介¹ (1.山梨大、2.東京都市大)

キーワード：

歪みSi,Sbドーピング,SiGe