[23p-A602-1~16] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

16:15 〜 16:30

[23p-A602-14] Al/Si_0.2Ge_0.8(111)上に偏析したSiおよびGeの光電子分光分析

〇(M2)酒井 大希¹、大田 晃生²、田岡 紀之³、牧原 牧原¹、山本 裕司⁴、宮﨑 誠一¹ (1.名大院工、2.福岡大理、3.愛工大、4.IHP)

キーワード：

SiGe,XPS,偏析