[23p-B201-1~5] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

14:00 〜 14:15

[23p-B201-3] 縦型Ga₂O₃フィールドプレートショットキーバリアダイオードの研究

〇湯田 洋平¹、海老原 洪平¹、南條 拓真¹、古橋 壮之¹、綿引 達郎¹、西川 和康¹ (1.三菱電機)

キーワード：

半導体,酸化ガリウム