講演情報
[23p-B202-4]ハイスループット分析を可能とする、材料の電子顕微鏡評価：流動場分離法の適用
〇加藤 晴久1、中村 文子1、伴野 秀邦1 (1.産総研)
キーワード：
粒子特性評価,電子顕微鏡,流動場分離法
電子顕微鏡は、材料のサイズ評価やモロフォロジーや表面状態、凝集状態を評価する有効な手法であるが、評価結果のアンサンブル性を確保するためには非常に高いコストを払う必要がある。そこで電子顕微鏡評価のハイスループット評価を可能とする手法として流動場分離法を組み合わせた評価手法を開発した。