2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
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一般セッション(ポスター講演)15 結晶工学：15.6 IV族系化合物（SiC）

[21a-P07-1~2]15.6 IV族系化合物（SiC）

2023年9月21日(木) 9:30 〜 11:30
P07 (熊本城ホール)

[21a-P07-1]液相シリコンとメタンガスによるSiC薄膜単結晶成長

〇(M1)堀内 大生1、内田 龍之介1、太子 敏則1 (1.信州大工)

[21a-P07-2]シリコンキャップアニールを行った4H-SiCの深い準位の解析

〇花房 宏明1、東 清一郎1 (1.広島大先進理工)
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