[10a-N206-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

11:30 〜 11:45

[10a-N206-10] 実験計画法を用いたPLD法によるY₃Fe₅O₁₂薄膜の最適プロセス条件探索

〇(M1)曽根高 立樹^1,2、山原 弘靖^1,2、田畑 仁^1,2 (1.東大院工、2.東大Beyond AI推進機構)

キーワード：

YIG、実験計画法、PLD