講演情報
[10a-N321-11]Bis-PCBM混合電気伝導性電子線レジストの研究 I
〇中島 安理1、迎 俊樹1 (1.広島大 半導体産業技術研)
キーワード：
ナノサイズ電子デバイス、ZEP520A、bis-PCBM
有機エレクトロニクスにおいて残された課題の1つに、ナノサイズの有機デバイスを高集積に作製する方法の確立がある。ポジ型有機電子線レジストであるZEP520Aにフラーレン誘導体bis-PCBMを混合させて、電気伝導性の有機ナノドットや有機ナノワイヤ構造を電子線露光と現像のみのプロセスで作製する方法を開発している。本講演では作製した構造について発表する。