講演情報
[10a-N323-10]深振動マグネトロンスパッタリングで生成する中性Ti粒子のレーザー誘起蛍光を用いた成膜領域におけるエネルギー分布解析
〇(M2)中川 悠幹1、小林 宏輝1、横山 英佐1,2、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英3、山本 宏晃3、塚本 恵三3、冨宅 喜代一4、大下 慶次郎5、美齊津 文典6 (1.東京工芸大工、2.サレジオ高専、3.（株）アヤボ、4.神戸大、5.北海道教育大、6.東北大院理)
キーワード：
レーザー誘起蛍光法、深振動マグネトロンスパッタリング
本研究では、成膜領域における深振動マグネトロンスパッタリング（DOMS）プラズマで生成した中性粒子のレーザー誘起蛍光(LIF)およびその時間発展を観測した。LIFの時間発展から得られる速度分布・エネルギー分布は、Shifted Maxwellian分布によって最適化が可能である。これはDOMSの各パルス放電で生成した中性Ti粒子の成膜領域における粒子輸送に起因している。今回は準安定粒子におけるエネルギー分布の解析を行い、各放電パルスの温度推移を検討した。