講演情報
[10a-N324-5]マイクロ流路プレートを用いた気液界面プラズマ生成装置（Ⅱ）
〇吉木 宏之1、遠田 明広2、中嶋 智樹3、佐藤 岳彦3 (1.仙台高専、2.鶴岡高専、3.東北大学)
キーワード：
気液界面プラズマ、マイクロ流路チップ、気液二相流
近年，マイクロ流体技術を駆使した微小化学分析装置（μ-TAS）やLab-on-Chipの研究開発が多数報告されている．また，1999年以降には微量試料の高感度検出を目指したガスクロマトグラフ検出器のためのon-Chip大気圧プラズマ源が提案された．これは内径1 mm以下のマイクロ流路内に大気圧He，Arプラズマを生成する試みである．今後，マイクロ流体技術と大気圧プラズマを組合わせることで従来報告されている気液界面プラズマ化学反応の高効率・高精度化が可能になると期待される．前回，マイクロ流路プレート内の気液界面プラズマ生成の概念図や応用例等を報告した．本研究では水力直径1 mmのマイクロ流路にT型合流部を用いてHeガスと液体の気液二相流を形成した後，パルス放電プラズマを生成する気液界面プラズマ生成装置を試作したので報告する．