[10a-N401-1~9] 13.3 絶縁膜技術

11:00 〜 11:15

[10a-N401-9] ハフニア強誘電体薄膜の分極電荷による界面ダイポール層の変化：分子動力学シミュレーションによる解析

〇渡邉 孝信¹、大場 淳平¹、山本 宙¹、西村 祐亮¹ (1.早大理工)

キーワード：

強誘電体、ハフニア、分子動力学シミュレーション