[10a-N405-1~8] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびディジタル応用

11:15 〜 11:30奨励賞エントリー

[10a-N405-7] 超伝導Nb共振器Q値改善に向けたNb自然酸化膜フッ化処理の反応性制御に関する研究

〇(M2)青山 大和¹、大堀 大介¹、藤田 裕一²、浦出 芳郎²、藤井 剛²、猪股 邦宏²、遠藤 和彦¹ (1.東北大流体研、2.産総研)

キーワード：

Nb、フッ化、ドライプロセス