講演情報
[10a-S102-9]p-type-WS2膜へのTiコンタクト抵抗低減
〇福田 晃貴1、寺岡 楓1、ジャン ジェイヒョ1、伊東 壮真1、松永 尚樹1、若林 整2 (1.科学大工、2.科学大総合研究院)
キーワード：
遷移金属ダイカルコゲナイド(TMDC)、コンタクト抵抗、二硫化タングステン(WS2)
n型動作が報告されているWS2に関して、大気中の酸化により表面がWOxとなることでp型動作が現れる。n型動作を想定すると、仕事関数の観点からTiよりもAlScがコンタクト抵抗低減に有効的である。p型動作を想定すると、還元力の観点からAlScよりもTiがコンタクト抵抗低減に有効的である。コンタクト金属としてどちらがよりコンタクト抵抗低減に寄与するのかを調査した。