[10p-N206-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

16:15 〜 16:30

[10p-N206-11] 酸化物半導体ナノ構造／NiOヘテロ接合のイオンセンサ性能について

〇木村 由斉¹、燈明 泰成¹ (1.東北大院工)

キーワード：

酸化物半導体、化学センサ、ナノ構造

ZnOナノ多孔質／NiO粒子やCuO_xナノワイヤ/NiO粒子のヘテロ接合を加熱と溶液プロセスを用いて形成し，その液体中のイオンセンサ性能を評価した．