講演情報
[10p-N206-2]反復温度変調法による高品質LiTi2O4薄膜の成長
〇(M1)高嶋 秀1、相馬 拓人1、吉松 公平1、大友 明1 (1.科学大物質理工)
キーワード：
薄膜合成、超伝導、遷移金属酸化物
LiTi2O4は，エピタキシャル薄膜への電気化学的なLiの脱挿入により，超伝導体-絶縁体間の可逆的な変調が実証されている興味深い物質である．従来の薄膜作製手法では，成長温度の上昇とともに高結晶化するものの，表面平坦性が悪化し，これらの両立は困難とされてきた．我々は，薄膜作製において反復温度変調法を適用することで，高結晶性と高表面平坦性の両立した高品質薄膜の作製に成功した．