講演情報
[10p-N206-7]ガスセンサ応用に向けたナノギャップ電極による酸化物半導体WO3ナノ粒子の電気特性評価
〇(M2)藤岡 諒1、村山 さなえ2、小本 祐貴2、Ramaraj Sankar Ganesh1、山原 弘靖1、谷口 正輝2、田畑 仁1 (1.東大院工、2.阪大産研)
キーワード：
ナノギャップ、酸化物半導体、ガスセンサ
高感度ガスセンサの実現に向けて、ナノギャップ電極とWO₃ナノ粒子を組み合わせたセンサデバイスの電気特性を評価した。30 nm、50 nm、100 nmのナノギャップ電極上に粒径7.3 nmのWO₃ナノ粒子を滴下し、滴下前後、温度変化に対する電気特性の変化やVOCsへの応答を測定した。ナノギャップ幅を小さくすることで、デバイス全体のインピーダンスに対するショットキー障壁の寄与が大きくなると予想される。