講演情報

[10p-N221-10]三次元立体交差によるSi細線導波路結合の検討

〇吉見 拓展1、藤田 晃成1、高 思源1、伊藤 貴裕1、立崎 裕真1、岩本 敏2,3、太田 泰友1 (1.慶應大、2.東大先端研、3.東大生研)

キーワード:

導波路結合、シリコン導波路、アライメントフリー