講演情報
[10p-N321-12]高感度力覚センシングに向けたソフト圧電体の低圧力下応答の検討
〇佐藤 陽紀1、首藤 龍馬1、二階堂 圭1、長谷川 達生1 (1.東大院工)
キーワード：
有機半導体、圧電体、圧力センサ
圧電体と有機電界効果トランジスタ（OFET）を組み合わせた圧力センサは、拡張メニスカスガイド法、スーパーナップ法などの印刷技術を用いることで柔軟な曲面基材上に高感度な圧力センサの作製が可能になると考えられている点で有用である。今回、その実用化に向けて、特に低圧力領域に着目し、圧電体への力の印加条件や試料の形状を変化させ、各条件下における圧力センサの動作を比較した結果について報告する。