講演情報

[10p-N322-6]蛍光4H-SiCのIQE測定とLEDデバイス化に関する研究

〇(M2)高橋 直暉1、坂 卓磨1、橋口 碧十1、上山 智1、竹内 哲也1、岩谷 素顕1、鈴木 敦志2、赤澤 絵里2、Ou Yiyu3、Ou Haiyan3 (1.名城大理工、2.E&Eエボリューション、3.デンマーク工科大学)

キーワード:

半導体

BおよびNをSiCにドーピングすると、蛍光SiCと呼ばれ、波長580 nmの発光を示す。さらに、その結晶表面にエッチング処理を施すことでポーラス層が形成され、波長460 nm付近の短波長発光が得られる。この蛍光SiCとポーラス蛍光SiCの組み合わせにより、広帯域な発光スペクトルを持つ高演色性白色LEDの実現が期待される。本研究では、蛍光4H-SiCの内部量子効率測定手法の確立と、励起用LEDを含むハイブリッドデバイスの試作を行った。