講演情報
[10p-N323-10]高気圧低温ヘリウムプラズマの低濃度不純物制御と分光計測を用いた反応機構解析
〇岸本 航一1、江利口 浩二1、占部 継一郎1 (1.京大院工)
キーワード：
大気圧プラズマ、不純物、分光計測
高気圧低温プラズマには，低濃度の不純物気体が系の反応機構に大きな影響を及ぼすという特徴がある．本研究では，不純物濃度をppmオーダーで制御可能な実験系を構築し，He中の合成空気不純物濃度を制御して放電実験を行った．He準安定原子と合成空気間の反応速度定数を実測し，濃度制御の精度を実証した．また，数百ppm以下の空気濃度領域において，生成されるＮ2+の励起準位割合が変化することを見出した．