講演情報
[10p-N406-9]高速スキャンCRDSを用いたガス中微量水分のリアルタイム計測
〇天野 みなみ1、富田 英生2、西澤 典彦2、阿部 恒1 (1.産総研、2.名古屋大)
キーワード：
湿度、微量水分、CRDS
半導体材料ガス中に不純物として含まれるppbレベルの微量水分を高感度かつリアルタイムに測定することを目指し、「高速スキャンCRDS微量水分計」を開発している。これまで、水の吸収スペクトル測定は数秒から数十秒で終わるものの、そこから水分濃度を算出するための解析に時間がかかっていた。今回、測定と解析の両方を素早く行うようシステムを改良し、水分濃度のリアルタイム測定を可能にしたので、これについて発表する。