[7a-N106-1~11] 3.1 光学基礎・光学新領域

11:30 〜 11:45

[7a-N106-10] 結晶型位相オンリー空間変調におけるITOパターンクローキング法の検証

〇渡邊 翼¹、酒井 寛人¹、田中 博¹ (1.浜松ホトニクス中研)

キーワード：

光変調、反射防止膜、透明電極

我々は光変調器の高速化を目的として、空間光変調を考慮した電気光学結晶の有用性について調査している。本発表では、インジウムスズ酸化物をパターン化した際に生じる空間的な透過率差を最小化する反射防止膜を設計し、その効果を検証したので報告する。