講演情報
[7a-N202-1]フッ化物ターゲットを使用したPb2OF2エピタキシャル薄膜のPLD成長
〇村木 理恩1、丸野内 洸1、周 瑋琨1、近松 彰2、太田 裕道3、片山 司3 (1.北大院情報、2.お茶大理、3.北大電子研)
キーワード：
酸フッ化物
複合アニオン酸化物は、金属酸化物の酸素サイトの一部が他のアニオン種に置換された化合物であり、従来の酸化物では得られない新奇物性発現が期待されている。複合アニオン酸化物の一種である酸フッ化物の合成手法はいくつか報告されているが、これまでフッ化物ターゲットから酸フッ化物薄膜を得る手法は報告例が限られていた。本研究では、PbF2ターゲットを使用してパルスレーザー堆積(PLD)法によりPb2OF2多結晶薄膜とエピタキシャル薄膜を作製し、その結晶構造、化学組成、誘電特性を調査したので報告する。