講演情報
[7a-N202-4]MOD法による酸化チタンナノ構造薄膜への遷移金属ドープ
〇廣瀬 由紀子1、桂 章皓1、岡西 音哉1、朱 文亮1、菅原 徹1 (1.京都工芸繊維大学)
キーワード：
ナノ構造薄膜、遷移金属ドーピング、酸化チタン
MOD法により、酸化チタンの前駆体溶液に4種の遷移金属(V, Mn, Co, Cu)を添加したナノ構造薄膜を成膜・評価した。XRD分析により、無置換およびV, Cu置換の薄膜試料は、アナターゼ構造を示し、Mn, Co置換の薄膜試料はアナターゼ構造とルチル構造の混晶を示した。加えて、XPS分析やラマン分光分析、STEM-EDX分析などの分光分析により、酸化チタンのTiサイトへの元素置換の状態を詳細に検討した。またセンサデバイスへの応用などについて議論する。