講演情報
[7a-N206-10]TiN密着層により実現された高歩留まり・低ばらつきPtナノシート水素センサ
〇(M1)宇井 柱明1、内田 建1、豊島 遼1 (1.東京大工)
キーワード：
金属ナノシート、ガスセンサ
金属ナノシート(NS)による分子センシングは，社会のあらゆる場面で応用が期待される．我々は過去に，湿度の影響を受けずに呼気中の水素を検知可能なPtNSセンサを開発してきたが，SiO2上ではPtNSの密着性が悪く，アニールによるセンサばらつきの抑制が，センサ良品率の低下を招くために利用できなかった．今回，この課題をPt/SiO2間へのTiN密着層の挿入により克服し，高歩留まりと低ばらつきを両立するPtNSセンサの作製に成功した．