2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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11:00 〜 11:15
[7a-N301-8]
AlN基板上GaN、AlGaNの特異な歪緩和機構
〇鷲山 瞬
1
、井上 振一郎
1
(1.情通機構)
キーワード：
AlN基板上GaN、AlGaN成長
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