講演情報
[7a-N405-1]顕微干渉計による相変化パターンの段差測定（Ⅱ）
〇菅原 健太郎1、後藤 民浩2 (1.産総研、2.群馬大理工)
キーワード：
相変化
相状態（結晶相とアモルファス相）の違いが、光を用いた顕微干渉計における段差測定に与える影響について、定量評価するための研究をおこなってきた。今回、Ge-Sb-Te系カルコゲナイド相変化膜に、ライン状のレーザ結晶化パターンを作成し、その深さ変化を顕微干渉計とAFMにより評価をしたところ、見かけの段差（光反射の位相変化）が～3 nm程度の結果が得られたので報告する。