[7a-N405-1~6] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

9:45 〜 10:00

[7a-N405-2] 室温でのIn-Se蒸着膜の透過率変化

〇(M2)平井 太洋¹、後藤 民浩¹ (1.群馬大理工)

キーワード：

In-Se、構造緩和、室温

アモルファスカルコゲナイドにおける準安定状態からの構造変化は長年の研究課題である。アモルファス相が主成分のIn-Se蒸着膜において、室温下で1年以上の長期にわたり光透過率が増加することを見出した。In-Se蒸着膜における準安定状態と長期にわたる構造変化のメカニズムについて検討した。