2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[7a-P01-1]
液体リチウムシートターゲットによるEUV光とイオンの放出特性
〇山本 隼也
1
、早坂 信太朗
1
、矢澤 隼斗
1
、杉浦 使
1
、空本 龍弥
1
、本田 能之
2
、岩本 文男
2
、永井 伸治
2
、林﨑 規託
3
、滑川 雅広
4
、作山 弘幸
4
、東口 武史
1
(1.宇都宮大、2.ギガフォトン株式会社、3.科学大、4.助川電気工業株式会社)
キーワード:
極端紫外光 (EUV)、レーザー生成プラズマ
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