講演情報

[7a-P01-1]液体リチウムシートターゲットによるEUV光とイオンの放出特性

〇山本 隼也1、早坂 信太朗1、矢澤 隼斗1、杉浦 使1、空本 龍弥1、本田 能之2、岩本 文男2、永井 伸治2、林﨑 規託3、滑川 雅広4、作山 弘幸4、東口 武史1 (1.宇都宮大、2.ギガフォトン株式会社、3.科学大、4.助川電気工業株式会社)

キーワード:

極端紫外光 (EUV)、レーザー生成プラズマ